獲獎團隊:集成電路用300mm硅片關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化
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獲獎團隊名稱:
集成電路用300mm硅片關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化
推薦單位:
上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
(責(zé)任編輯:侯茜)
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