極大規(guī)模集成電路關鍵技術研究集體
研究集體推薦單位：中國科學院微電子研究所
研究集體主要科技貢獻
該研究集體在國家科技重大專項支持下，牽頭組織全國性產(chǎn)學研用聯(lián)盟，聯(lián)合北京大學、清華大學、復旦大學、中芯國際、武漢新芯等產(chǎn)學研用單位，通過5年攻關，實現(xiàn)了22納米高K介質(zhì)/金屬柵工程、14納米FinFet器件、新型閃存器件、可制造性設計等關鍵技術的突破，研究水平邁入世界前列；提出了“專利指導下的研發(fā)戰(zhàn)略”，在關鍵工藝模塊上形成了較為系統(tǒng)的知識產(chǎn)權布局（專利2406項，含國際專利483項），并首次實現(xiàn)了向大型制造企業(yè)的許可轉(zhuǎn)讓，開始進入產(chǎn)業(yè)化開發(fā)階段。這一成果的取得，標志著我國在集成電路這一高度全球化的高科技競爭領域前沿開始擁有一席之地，將為我國納米級極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)技術升級提供有力的技術支撐。
研究集體突出貢獻者及主要科技貢獻
葉甜春
負責技術路線整體設計與規(guī)劃、知識產(chǎn)權系統(tǒng)布局和實施，組建“產(chǎn)學研”聯(lián)合研發(fā)團隊，推進技術研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。
陳大鵬
負責組織22和14納米關鍵工藝技術研發(fā)，重點攻關任務推進，組建集成電路先導工藝公共研發(fā)平臺。
朱慧瓏
負責技術攻關，提出了“專利指導下的研發(fā)戰(zhàn)略”，領導形成了20-14納米主要專利組合，在高K/金屬柵和FinFET方面?zhèn)€人專利申請數(shù)量全球排名分別為第一和第五。
研究集體主要完成者及工作單位
趙 超 中國科學院微電子研究所
閆 江 中國科學院微電子研究所
楊士寧 中國科學院微電子研究所/武漢新芯集成電路有限公司
徐秋霞 中國科學院微電子研究所
劉 明 中國科學院微電子研究所
陳 嵐 中國科學院微電子研究所
殷華湘 中國科學院微電子研究所
鐘匯才 中國科學院微電子研究所
尹海洲 中國科學院微電子研究所
李俊峰 中國科學院微電子研究所
王文武 中國科學院微電子研究所
霍宗亮 中國科學院微電子研究所
李春龍 中國科學院微電子研究所
王紅麗 中國科學院微電子研究所
王大海 中國科學院微電子研究所
阮文彪 中國科學院微電子研究所
唐 波 中國科學院微電子研究所
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