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各有關(guān)單位：
　　為進一步提高從事微機電系統(tǒng)技術(shù)人才隊伍的理論水平和研究能力，由中國科學(xué)院人事局資助，中國科學(xué)院微電子研究所物聯(lián)網(wǎng)中心主辦的“微機電系統(tǒng)（MEMS）高級研修班”將于2016年10月27日- 10月30日在無錫舉行?，F(xiàn)將有關(guān)培訓(xùn)事宜通知如下：
　　一、主要培訓(xùn)內(nèi)容 
　　課程一：MEMS原理及器件設(shè)計
課程時間授課內(nèi)容
10月28日上午
（0.5天）講師： 東南大學(xué) 周再發(fā) 教授
本課程主要講解MEMS原理、設(shè)計和分析等知識，內(nèi)容包括MEMS基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、設(shè)計方法、加工工藝、表面特性、檢測技術(shù)、主要應(yīng)用以及典型MEMS軟件及仿真技術(shù)。
課程目錄：
1. MEMS產(chǎn)業(yè)概況
2. MEMS基礎(chǔ)原理
3. MEMS設(shè)計方法
4. MEMS設(shè)計與工藝
5. MEMS仿真技術(shù)

　　課程二：MEMS制造工藝
課程時間授課內(nèi)容
10月28日下午
（0.5天）講師：中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 戈肖鴻 研究員
本課程主要講解CMOS和MEMS制造工藝，其中MEMS制造工藝包括體微加工技術(shù)、表面微加工技術(shù)和CMOS MEMS技術(shù)，以及全球主要MEMS代工廠和中國科研機構(gòu)MEMS工藝線。
課程目錄：
1. CMOS制造工藝
2. MEMS制造工藝
3. 全球主要MEMS代工廠
4. 中國科研機構(gòu)MEMS工藝線
5. 上海微系統(tǒng)所工藝能力介紹

　　課程三：MEMS封裝和測試
課程時間授課內(nèi)容
10月29日上午
（0.5天）講師：中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 羅樂 研究員
本課程主要講解MEMS封裝、測試、可靠性及失效分析，并指出傳統(tǒng)IC封裝與MEMS封裝的異同點，以及先進封裝技術(shù)，如晶圓級封裝。同時，本課程也會介紹全球主要封裝和測試廠商。
課程目錄：
1. MEMS封裝
2. MEMS測試
3. MEMS可靠性及失效分析
4. 全球主要封裝和測試廠商
5. 上海微系統(tǒng)所封裝和測試能力介紹

　　課程四：典型MEMS器件及應(yīng)用
課程時間授課內(nèi)容
10月29日下午
至
10月30日上午
（1天）講師：
中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 車錄鋒 研究員
中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 李鐵 研究員
中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 徐德輝 副研究員
本課程主要講解典型MEMS器件原理及技術(shù)，包括射頻MEMS、紅外傳感器、慣性傳感器、MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、氣體傳感器。同時，本課程以智能可穿戴設(shè)備為例，介紹MEMS器件應(yīng)用現(xiàn)狀。
課程目錄：
1. 射頻MEMS
2. 紅外傳感器
3. 慣性傳感器
4. MEMS麥克風(fēng)
5. 壓力傳感器
6. 氣體傳感器
7. MEMS應(yīng)用：智能可穿戴設(shè)備

　　課程五：壓力傳感器信號調(diào)理及實戰(zhàn)
課程時間授課內(nèi)容
10月30日下午
（0.5天）蘇州納芯微電子股份有限公司 CTO 盛云
本課程主要講解壓力傳感器信號調(diào)理的基本原理和技術(shù)演進、典型壓力傳感器ASIC產(chǎn)品及應(yīng)用，以及壓力傳感器校準與測試技術(shù)。同時，本課程結(jié)合納芯微電子的ASIC開發(fā)板進行實戰(zhàn)體驗。
課程目錄：
1. 壓力傳感器信號調(diào)理的原理
2. 壓力傳感器信號調(diào)理技術(shù)路線及演進
3. 典型壓力傳感器ASIC產(chǎn)品及應(yīng)用
4. 壓力傳感器校準與測試
5. 壓力傳感器ASIC應(yīng)用實戰(zhàn)

　　二、參加培訓(xùn)人員范圍 
　　從事微機電系統(tǒng)研究的工程技術(shù)人員、科研工作者以及研究生； 高等院校學(xué)生和老師、企業(yè)技術(shù)人員和高級管理人員； 其它希望了解MEMS技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的非MEMS背景人員，如銷售和市場人員、投融資機構(gòu)人員、政府管理人員等。
　　三、培訓(xùn)事項 
　　 1.培訓(xùn)時間：2016年 10 月 27 日 – 2016年10月30日， 共計4天。
　　日程安排：
　　10月27日下午15:00-17:00報到；
　　10月28日至10月30日上課時間： 上午：8:30-12:00， 下午：14:00-17:30
　　返程
　　2.培訓(xùn)地點： 中國科學(xué)院物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心
　　地址： 無錫市菱湖大道200號C座2樓205會議室
　　3.相關(guān)費用：
　　1） 此次培訓(xùn)不收取培訓(xùn)費。
　　2） 食宿及交通費用由學(xué)員自理。其中：會務(wù)組統(tǒng)一安排食宿及無錫市內(nèi)交通（酒店—會議室）費用為1600元/人
　　3） 匯款信息：
　　單位名稱： 無錫中科智庫物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)研究院有限公司
　　賬號： 1103 0322 1900 0005 352
　　開戶行： 工商銀行無錫新安支行
　　四、報名事項 
　　1.報名截止時間：2016年10月24日
　　2.請于報名截止前將報名回執(zhí)表（見附件）發(fā)送到聯(lián)系人電子郵箱。由于培訓(xùn)涉及實際操作，為保證培訓(xùn)效果，學(xué)員名額有限，組辦方將根據(jù)報名先后順序確定參訓(xùn)人員。
　　五、聯(lián)系方式及地址、交通 
　　聯(lián)系人：廖老師、王老師
　　電 話：0510-81817231、 18662524241、13962307743
　　E-mail: liaojuhua@ciotc.org
　　酒店名稱：無錫協(xié)信維嘉酒店
　　地址：無錫市新區(qū)星光商業(yè)中心1 號（和鳳路19 號）
　　乘車路線: （從機場、火車站）
　　乘飛機到達：
　　方案一：步行至無錫機場站，乘坐機場1 號線，在高浪路（機場路）站下車，步行至機場
　　路（高浪路）站，乘坐756 路公交，在新區(qū)科技商務(wù)中心站下車，步行（約500 米）至協(xié)信維嘉酒店。（全程約15 公里，用時約90 分鐘）
　　方案二：打車至協(xié)信維嘉酒店（全程約15 公里，費用為30 元左右）
　　乘火車到達
　　無錫站：
　　方案一： 乘坐760 路公交，在凈慧東道（匯融廣場）站下車，步行（約50 米）至協(xié)信維嘉酒店。（全程約22 公里，用時約90 分鐘）
　　方案二：打車至協(xié)信維嘉酒店（全程約22 公里，費用為50 元左右）
　　無錫東站（京滬高鐵）：
　　方案一：出站后按提示步行至地鐵2 號線（梅園開原寺方向），在東亭站下車，步行至寶城花園站（約600 米），乘坐769 路公交，在和風(fēng)路（匯融廣場）站下車，步行（約200 米）至協(xié)信維嘉酒店。（全程約30 公里，用時約100 分鐘）
　　方案二：打車至協(xié)信維嘉酒店（全程約30 公里，費用為60 元左右）
　　無錫新區(qū)站
　　方案一：出站后按提示步行至高鐵無錫新區(qū)站，乘坐769 路公交，和風(fēng)路（匯融廣場）站
　　下車，步行（約200 米）至協(xié)信維嘉酒店。（全程約4 公里，用時約30 分鐘）
　　方案二：打車至協(xié)信維嘉酒店（全程約4 公里，費用為15 元左右）