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加快打造原始創(chuàng)新策源地，加快突破關(guān)鍵核心技術(shù)，努力搶占科技制高點(diǎn)，為把我國(guó)建設(shè)成為世界科技強(qiáng)國(guó)作出新的更大的貢獻(xiàn)。

——習(xí)近平總書記在致中國(guó)科學(xué)院建院70周年賀信中作出的“兩加快一努力”重要指示要求

面向世界科技前沿、面向經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場(chǎng)、面向國(guó)家重大需求、面向人民生命健康，率先實(shí)現(xiàn)科學(xué)技術(shù)跨越發(fā)展，率先建成國(guó)家創(chuàng)新人才高地，率先建成國(guó)家高水平科技智庫(kù)，率先建設(shè)國(guó)際一流科研機(jī)構(gòu)。

——中國(guó)科學(xué)院辦院方針

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第608次香山科學(xué)會(huì)議

真空互聯(lián)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料和器件創(chuàng)新

2017-10-30 中國(guó)科學(xué)報(bào) 彭科峰

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語(yǔ)音播報(bào)

　　日前，由中科院蘇州納米所牽頭承辦的第608次香山科學(xué)會(huì)議在蘇州舉行，本次大會(huì)的主題為“化合物半導(dǎo)體器件的異質(zhì)集成與界面調(diào)控”。

　　半導(dǎo)體與集成電路在人類社會(huì)各領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，也越來(lái)越重要。經(jīng)歷半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展，硅集成電路日前的器件尺度與集成度已接近現(xiàn)有技術(shù)的極限。中科院蘇州納米所王永疆博士介紹，隨著硅集成電路的高度發(fā)展，III-V族化合物（主要包括鎵化砷、磷化銦和氮化鎵）半導(dǎo)體材料與器件的開發(fā)和應(yīng)用越來(lái)越受到廣泛關(guān)注，已經(jīng)成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的另外一個(gè)支柱。

　　硅半導(dǎo)體與化合物半導(dǎo)體的結(jié)合是未來(lái)信息發(fā)展領(lǐng)域的一個(gè)必然趨勢(shì)?！爱愘|(zhì)集成與界面調(diào)控是該領(lǐng)域的關(guān)鍵共性難題，其背后深層次的科學(xué)問(wèn)題在于表面/界面的本征性質(zhì)、量子效應(yīng)及原子操控等。利用全新的真空互聯(lián)技術(shù)，可以從本質(zhì)上認(rèn)識(shí)納米材料與器件中的量子效應(yīng)，進(jìn)行表、界面精確調(diào)控，實(shí)現(xiàn)新型半導(dǎo)體材料與器件的創(chuàng)新?！蓖跤澜f(shuō)。

　　納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站是一個(gè)用于材料生長(zhǎng)、器件加工、測(cè)試分析的完整系統(tǒng)。所有樣品均可在超高真空環(huán)境中準(zhǔn)確、快速、平穩(wěn)地進(jìn)行傳送?！吨袊?guó)科學(xué)報(bào)》記者了解到，目前中科院蘇州納米所正在建設(shè)全世界規(guī)模最大、功能最全，集材料生長(zhǎng)、測(cè)試分析、器件工藝于一體的納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)大裝置，建成后將對(duì)發(fā)展新一代納米電子與器件研究有重要促進(jìn)作用。

　　會(huì)議期間，與會(huì)專家還就未來(lái)納米光電器件研究、硅基化合物半導(dǎo)體材料與器件集成研究、新型二維材料研究及器件探索等議題進(jìn)行了深入研討。

　?。ㄔd于《中國(guó)科學(xué)報(bào)》 2017-10-30 第4版綜合)

　　日前，由中科院蘇州納米所牽頭承辦的第608次香山科學(xué)會(huì)議在蘇州舉行，本次大會(huì)的主題為“化合物半導(dǎo)體器件的異質(zhì)集成與界面調(diào)控”。
　　半導(dǎo)體與集成電路在人類社會(huì)各領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，也越來(lái)越重要。經(jīng)歷半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展，硅集成電路日前的器件尺度與集成度已接近現(xiàn)有技術(shù)的極限。中科院蘇州納米所王永疆博士介紹，隨著硅集成電路的高度發(fā)展，III-V族化合物（主要包括鎵化砷、磷化銦和氮化鎵）半導(dǎo)體材料與器件的開發(fā)和應(yīng)用越來(lái)越受到廣泛關(guān)注，已經(jīng)成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的另外一個(gè)支柱。
　　硅半導(dǎo)體與化合物半導(dǎo)體的結(jié)合是未來(lái)信息發(fā)展領(lǐng)域的一個(gè)必然趨勢(shì)。“異質(zhì)集成與界面調(diào)控是該領(lǐng)域的關(guān)鍵共性難題，其背后深層次的科學(xué)問(wèn)題在于表面/界面的本征性質(zhì)、量子效應(yīng)及原子操控等。利用全新的真空互聯(lián)技術(shù)，可以從本質(zhì)上認(rèn)識(shí)納米材料與器件中的量子效應(yīng)，進(jìn)行表、界面精確調(diào)控，實(shí)現(xiàn)新型半導(dǎo)體材料與器件的創(chuàng)新?！蓖跤澜f(shuō)。
　　納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站是一個(gè)用于材料生長(zhǎng)、器件加工、測(cè)試分析的完整系統(tǒng)。所有樣品均可在超高真空環(huán)境中準(zhǔn)確、快速、平穩(wěn)地進(jìn)行傳送?！吨袊?guó)科學(xué)報(bào)》記者了解到，目前中科院蘇州納米所正在建設(shè)全世界規(guī)模最大、功能最全，集材料生長(zhǎng)、測(cè)試分析、器件工藝于一體的納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)大裝置，建成后將對(duì)發(fā)展新一代納米電子與器件研究有重要促進(jìn)作用。
　　會(huì)議期間，與會(huì)專家還就未來(lái)納米光電器件研究、硅基化合物半導(dǎo)體材料與器件集成研究、新型二維材料研究及器件探索等議題進(jìn)行了深入研討。
　?。ㄔd于《中國(guó)科學(xué)報(bào)》 2017-10-30 第4版綜合)

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